Блоки питания для чрезвычайно высоких требований

Производство полупроводников

Интеллектуальная интеграция - индивидуальные источники питания для производства полупроводников

Производство полупроводников требует высокоточного интегрированного источника питания. Это гарантируется источниками питания FuG. Здесь используются индивидуальные решения, а также серии Basic или Professional серии – например, в контексте ионной имплантации, литографии и микроскопии. Особое внимание уделяется фильтрующим конденсаторам, они должны быть проверены на напряжение изоляции и в процессе производства, а также через определенные промежутки времени в течение периода эксплуатации.

Применение

Производство полупроводников

Ионная имплантация

Источники питания среднего и высокого напряжения с высокой динамикой управления, а также высокой стабильностью. 30кВ - 150кВ, 700Вт - 20кВт.

Бондинг:

Для высоковольтных источников питания с низкой мощностью и специфической схемой управления и вывода. До 2 кВ, до 1 мА, кассетные источники питания.

ЖК-тестер:

Существуют промышленные приборы с чрезвычайно высоким требованием к стабильности высокого напряжения. К ним относятся электронные микроскопы применяемые для тестирования ЖК-экранов в процессе производства. 10кВ -20кВ, низкий ток, высокая точность, со вспомогательными источниками.

Литография / Микроскопия:

Мельчайшие структуры в диапазоне нанометров создаются на полупроводниковых или других подложках. Требования аналогичны электронной микроскопии, но для литографии регулирование тока электронного луча должно охватывать больший диапазон мощности. 20 кВ - 70 кВ, низкий ток (мА), вспомогательные источники питания, очень высокая стабильность, низкие пульсации.

Силовые полупроводники:

Компоненты необходимо часто проверять на диэлектрическую прочность, проводимость тока и характеристики переключения. Диапазон 800 В – 20 000 В, до 10 кВт, импульсы высокого/сильного тока до 3000А. Сильные импульсы тока до 3000А.

Тестер конденсаторов/формовочные системы:

Конденсаторы должны быть проверены на их диэлектрическую прочность и отсортированы в процессе производства или при последующем применении. Диапазон 800 В – 20 000 В, до 10 кВт.

Тестер варистора:

Компоненты часто нуждаются в испытании на выдерживаемое напряжение. 800 В - 20 000 В, 7 Вт - 500 Вт.